超高真空メカニカルブースターポンプ

超高真空（UHV）メカニカル ブースター ポンプ（ルーツ ブースター ポンプ）は、高いポンプ能力と迅速なポンプ ダウン時間が必要とされる低圧真空システムでのガス スループットを向上させます。{0}{1}
互換性のあるバッキング ポンプ（ドライ真空ポンプやロータリー ベーン ポンプなど）と併用して動作するブースターは、容積型の機械的動作を使用してガスをチャンバー側からバッキング ステージに移送します。{0}}これにより、中真空から超高真空圧力範囲における実効排気速度が大幅に増加します。-

正しいルーツブースターポンプを選択し、真空システムにスムーズに統合するには、次の動作点を評価してください。
排気速度と目標圧力:配管コンダクタンスを考慮して、チャンバー入口で必要な有効排気速度を計算します。
ガス負荷とプロセス媒体:プロセスガスの組成、腐食性、粉塵粒子、材料のガス放出速度を特定します。
バッキングポンプの互換性:補助ポンプが最大許容差圧 (Delta P max) を超えずに吐出量を処理できるようにしてください。
熱とシステムのインターロック:圧力スイッチ、可変周波数ドライブ (VFD)、および冷却インターロックを構成して、荒加工段階での機械的過負荷を回避します。

半導体とエレクトロニクス:低汚染性を必要とするエッチング、CVD、およびリソグラフィーのサポート ツールの排気およびプロセス ガスの処理。
薄膜の堆積とコーティング:{0}}高スループットの PVD、スパッタリング、光学コーティング プロセス中に安定した動作圧力を維持します。{0}
研究所:-素粒子物理学、表面科学、宇宙シミュレーション チャンバー向けの信頼性の高い真空性能。
真空炉と処理:高温の脱ガス、真空ろう付け、熱処理中に重いガス負荷を効率的に処理します。{0}

UHV の信頼性には、厳格な製造基準と検証基準が必要です。
クリーンルーム処理:多段階の超音波洗浄、溶剤脱脂、ダストフリー包装により、ガスの発生を確実に抑えます。{0}{1}
精度テスト:動的ローターバランシング、寸法検証、質量分析計のヘリウムリークテスト。
文書の成果物:モデル固有のポンプ速度曲線、CAD/STEP の外形図、モーターの電気仕様、材料認証、漏れ試験レポートを作成します。{0}

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