多段高真空ルーツポンプスキッド

マルチステージ高真空ルーツ ポンプ スキッドは、複数のルーツ ポンプ ステージと、最適化された補助ポンプ、真空隔離バルブ、プロセス配管、計装、電気システム、および自動制御機能を単一のベース フレーム上に組み合わせた、完全に統合された真空ポンプ パッケージです。
完全なポンピング システムは、必要な作動真空度、連続ガス負荷、プロセス ガス組成、蒸気含有量、動作温度、およびデューティ サイクルに従ってカスタマイズされます。

最適化されたポンプ能力:複数のルーツ ステージは、目標動作圧力範囲内で直接高いポンピング速度を提供し、重いガス負荷下での単一ステージ ユニットのスループット制限を克服します。{0}
ターンキー統合:ポンプ、配管、センサー、バルブ、電気制御が完全に統合されているため、現場で個々のコンポーネントを調達して組み立てる手間や負担が軽減されます。
プロセス-特有のエンジニアリング:冶金、シールの種類、ろ過、およびバッキング技術は、ガス流が乾燥しているか、湿っているか、腐食性があるか、粉塵が多いかどうかに基づいて選択されます。
自動運転制御:統合された PLC 管理は、システムの起動シーケンス、圧力に依存するステージの起動、過熱保護、安全インターロックを制御します。{0}{1}{1}
プラグ-アンド-インストール:完全に配線され、頑丈な構造用鋼フレームに取り付けられた状態で納品されるため、電源、冷却ユーティリティ、プロセス配管フランジを接続するための現場作業が軽減されます。{0}

負荷がかかった状態で作動真空を確立します。設計基準は、空の乾燥チャンバーの最終的な制限ではなく、活性ガス放出中に必要な動作圧力に基づく必要があります。
実効速度の計算:相互接続する配管、バルブ、エルボ間の流れ抵抗を考慮します。チャンバーフランジでのポンピング速度は、常にポンプの公称速度よりも低くなります。
補助ポンプの容量を一致させます。補助ポンプは、システムに過負荷をかける可能性のある中間圧力の上昇を引き起こすことなく、ルーツステージの全スループットを処理する必要があります。
プロセスガスのリスクを軽減:

• 湿った蒸気または凝縮性蒸気: 温度管理、ガスバラスト、またはノックアウトセパレーターが必要です。-
• 腐食性要素: ステンレス鋼材料、特殊コーティング、または不活性潤滑剤 (PFP​​E など) が必要です。
• 粒子状物質の負荷: ポンプ内部の正確なクリアランスを保護するために、上流の入口濾過が必要です。

真空乾燥：化学薬品、医薬品、変圧器の製造における水分と溶剤の効率的な除去。
真空蒸留と蒸発:低温分離および溶媒回収プロセスをサポートします。-
真空脱気：ポリマー、樹脂、溶融金属、油からの同伴ガスの抽出。
真空コーティング(PVD/CVD):迅速なチャンバー排気と継続的な低圧環境を提供します。{0}
真空熱処理と冶金:炉の排気、真空ろう付け、焼結作業。

すべてのスキッドは発送前に厳格なテストを受けます。
寸法とレイアウトの監査:承認された 3D CAD モデルに対して、フランジの向き、配管の位置合わせ、メンテナンスの容易性を検証します。
ヘリウム質量分析計のリークテスト:すべての真空溶接、ジョイント、バルブシートの完全性を検証します。
電気および安全インターロックの検証:ポイントツーポイントの配線チェック、接地導通、自動シャットダウン テスト。{0}}-
全負荷機能テスト:-動作を実行して、振動レベル、温度安定性、モーター負荷、到達可能な最終真空度を検証します。

正確な技術提案を受け取るには、可能な場合は次のプロセス パラメータを入力してください。

• 目標作動真空度 (mbar、Pa、または Torr)
• 必要な排気速度（m3/h または CFM）または目標ポンプ停止時間でのチャンバー容積-
• プロセスガスの組成（腐食性、可燃性、または不活性成分）
• 蒸気の負荷と種類 (水または溶媒の質量流量 (kg/h))
• 入口接続部の動作温度
• デューティ サイクル (24 時間 365 日継続またはバッチ ポンプダウン)
• 推奨される電源およびフランジ規格
• サイト認証要件 (CE、ATEX、UL、ISO 9001)

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