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高真空ロータリローブ置換ポンプ

高真空ロータリローブ置換ポンプ

高真空回転ローブ置換ポンプ(一般にルーツ真空ブースターと呼ばれる)は、高真空用途における排気速度とスループットを大幅に向上させるように設計された容積式ポンプです。{0}{1}これらのポンプは、同期二重反転ローブを搭載しており、ガスを入口から排気まで迅速に移送し、要求の厳しい工業用圧力範囲全体で高い体積効率を実現します。
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製品説明

高真空ロータリローブ置換ポンプ

 

高真空回転ローブ置換ポンプ(一般にルーツ真空ブースターと呼ばれる)は、高真空用途における排気速度とスループットを大幅に向上させるように設計された容積式ポンプです。{0}{1}これらのポンプは、同期二重反転ローブを搭載しており、ガスを入口から排気まで迅速に移送し、要求の厳しい工業用圧力範囲全体で高い体積効率を実現します。

 

ロータリーローブ真空ポンプを指定する理由

 

ロータリー ローブ真空ポンプは、真空システムで主補助ポンプが単独で提供できるよりも大きな容積変位と高速ポンプダウン サイクルを必要とする場合に不可欠です。{0}
エンジニアリング上の主な利点は次のとおりです。
高い体積効率:
目標圧力範囲内でガス排気能力を最大化します。
多用途の補助ポンプの統合:ロータリーベーン、ドライスクリュー、液封、またはピストンバッキングポンプでスムーズに機能します。
熱的および機械的安定性:正確なクリアランスを維持し、継続的なガス負荷時の過熱を防ぐように設計されています。
グローバル互換性:マルチ電圧モーター(50/60 Hz)、防爆オプション、標準の国際フランジ接続が利用可能です。-
柔軟なカスタマイズ:カスタムの取り付け方向、特殊なシーリング オプション、カスタマイズされた冷却配置をサポートします。

 

技術パラメータと選択ガイド

 

パラメータ/要件

エンジニアリング仕様

ポンプの種類

高真空ロータリーローブ変位ポンプ/ルーツ真空ブースター

目標排気速度

動作圧力で必要な体積流量 (m3/h または CFM)

極限真空

必要な基本システム圧力 (Pa、mbar、または Torr)

使用圧力範囲

連続およびピーク動作圧力制限

最大差圧

入口と出口の間の最大許容圧力差

プロセスガス媒体

空気、N2、反応性、凝縮性、または腐食性の蒸気混合物

入口ガス温度

ポンプ入口に入るプロセスガスの温度

補助ポンプの詳細

既存のモデル、技術タイプ、および排水量容量

接続フランジ

標準の ISO-K、ISO-F、CF、または ANSI 工業用フランジ パターン

モーター仕様

電圧、周波数 (50/60 Hz)、エンクロージャ定格、ATEX/IECEx 準拠

冷却方法

空冷式または一体型水冷{{0}ジャケット-

品質と基準

ISO 9001、CE、ATEX、または特定のプロジェクト標準への準拠

 

システムの選択とエンジニアリングの手順

 

真空と圧力の目標を定義します。到達真空度と作動圧力を特定して、ブースターのサイズと補助ポンプの比率を決定します。
容積ポンピング速度を計算します。公称自由空気変位のみに依存するのではなく、実際の作動圧力で必要なポンピング速度を評価してください。{0}}
バッキングポンプの一致を確認します:最大許容吐出圧力を超えずに、補助ポンプがブースターによって排出されるガスのスループットを排出できることを確認してください。
ガスと環境条件を確認します。ガス組成、湿気、塵埃、腐食性元素を指定して、ハウジングの材質、表面コーティング、シールの種類を決定します。
差圧の管理:バイパス バルブ (オーバーフロー バルブ) または可変周波数ドライブ (VFD) を統合して、より高い圧力差で動作するときにポンプを熱過負荷から保護します。
インターフェースと取り付けの確認:注文する前に、物理的寸法、入口/出口フランジ規格、モーターパラメータ、空間方向 (水平または垂直の流れ) を確認してください。

 

アプリケーションとプロセスの最適化

 

真空炉:チャンバーのポンプのダウン時間を短縮し、オイルの逆流を防ぎ、高温熱処理、ろう付け、焼結中に安定した作動圧力を維持します。-
真空コーティング(PVD/CVD):均一な薄膜堆積に必要な連続的なガス スループットと正確な圧力制御を実現します。{0}}
真空乾燥と変圧器の真空排気:熱による劣化を引き起こすことなく、低圧下で水分の除去と溶媒の脱気を高速化します。
化学および医薬品の処理:耐食性コーティングまたは蒸留、溶媒回収、連続脱ガス用の特殊なシャフト シールで構成されています。{0}
エレクトロニクスおよび半導体製造:クリーンで厳密に制御された真空環境を必要とする自動処理装置にシームレスに統合します。

 

製造精度と品質管理

 

ポンプの信頼性の高い動作は、厳しい加工公差、正確なローターのタイミング、および厳格な品質検査に依存します。
精密CNC加工:-ポンプ ハウジングとローブのプロファイルを高精度に機械加工して、最適な内部クリアランスを維持します。
ダイナミックローターバランシング:ローター アセンブリの動的バランシングにより、振動を低減し、ベアリングの寿命を延ばし、騒音レベルを低減します。
タイミングギアの同期:組み立て中にギアのアライメントを正確にチェックし、高速動作時のローター同士の接触を防ぎます。{{0}{1}
ヘリウムリークテスト:ハウジングの接合部、エンドプレート、シャフトシールの包括的な真空漏れテストにより、構造の完全性を保証します。
工場受け入れテスト (FAT):-出荷前の走行テストで、振動、動作温度上昇、到達真空度、消費電力を評価します。

 

調達および技術評価のための文書

 

リクエストに応じて、次の技術文書パッケージを入手できます。

  • 2D寸法外形図と3D CADモデル(STEP / IGES)
  • 排気速度と圧力の性能曲線
  • モーターのデータシートと電気回路図
  • 工場検査記録と動的バランシングレポート
  • ヘリウムリークテスト証明書と実行テストレポート
  • ISO 9001、CE、および ATEX 準拠証明書
  • 操作、メンテナンス、およびスペアパーツのマニュアル

 

よくある質問

 

Q:高真空ロータリローブ容積ポンプ(ルーツブースタ)とは何ですか?

A: これは、同期逆回転ローブを使用してガスを入口から出口に移動させる容積式真空ポンプです。-これはブースターステージとして機能し、低圧での主補助ポンプの排気速度と容量を大幅に増加させます。

Q: ロータリーローブ真空ポンプには補助ポンプが必要ですか?

A: はい。回転ローブ真空ブースターは、限られた圧力差に対して動作し、大気圧に直接放出することはできません。排気圧に対処するには、適切な補助ポンプ (ロータリー ベーン、ドライ スクリュー、液封ポンプなど) と組み合わせる必要があります。

Q: 正しいブースターと補助ポンプの組み合わせを選択するにはどうすればよいですか?

A: 選択には、安全なステージング比 (動作圧力に応じて通常 2:1 ~ 10:1) を維持するために、ブースターの容量を補助ポンプの容量に一致させる必要があります。

Q: ロータリーローブ真空ポンプは連続運転できますか?

A: はい、指定された差圧、温度、回転速度制限内で動作する場合に限ります。より高い入口圧力での連続運転の場合は、圧力リリーフバイパスバルブまたは可変周波数ドライブ (VFD) を使用して熱負荷と機械負荷を管理する必要があります。

Q: 交換用ポンプを注文するにはどのような情報が必要ですか?

A: 現在のポンプの銘板データ、モーターの電気仕様、フランジ接続のタイプ/サイズ、全体の取り付け寸法、動作圧力範囲、およびプロセスガスの詳細を提供してください。

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