キャンドモータードライブルーツ真空ブースター
キャンド モーター ドライブ ルーツ バキューム ブースターは、補助ポンプと連携して動作するように設計された容積式バキューム ブースターです。-これにより、ガス スループットが大幅に増加し、工業用動作範囲全体でポンプダウン性能が向上します。-このシステムは、密閉されたキャンド モーター構成と組み合わせた同期ルーツ ローターを利用することで、動的なシャフト シールの漏れを完全に排除し、ポンピングされたガス経路の絶対的な封じ込めを保証します。-
技術仕様
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技術的パラメータ |
仕様/要件 |
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排気速度 |
実際の作動圧力に一致する体積変位 |
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使用圧力範囲 |
通常の作動圧力を目標バッキング閾値まで下げる |
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差圧 |
入口と出口間の最大許容圧力降下 |
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ガス耐荷重 |
連続およびピーク質量/体積ガス流量 |
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プロセスガスの適合性 |
腐食性、有毒、不活性、または凝縮性の蒸気組成物 |
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温度制限 |
通常および最大許容ガス温度 |
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補助ポンプの要件 |
容積排出と段間圧力制御に適したサイズ{0}} |
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モーター駆動と電気 |
密閉型キャンドモーター。指定された電圧、周波数、位相 |
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コンプライアンスと安全性 |
地域の電気規格 (IEC、NEMA、ATEX / IECEx オプション) |
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冷却方法 |
統合された空冷または液体冷却構成 |
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接続規格 |
入口/出口フランジのサイズ (ISO-K、ANSI、JIS 規格) |
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構造材料 |
304L/316L SS、ハステロイ、または特殊合金の接液部 |
システム統合と補助ポンプのマッチング
ルーツブースターはあくまで中間段階として動作し、大気中に直接排気することはできません。補助ポンプは、差圧をブースターの安全な動作限界内に維持しながら、排出ガスを継続的に除去する必要があります。
クロスオーバー圧力:ポンプダウン中にブースターが作動する正確な入口圧力しきい値を定義します。-
熱平衡:圧縮熱の発生と段間の冷却能力のバランスをとります。{0}}
避難のダイナミクス:公称カタログ値ではなく、検証済みの排気速度対入口圧力曲線を使用して、チャンバーの総排気時間を計算します。
製造と品質保証
信頼性の高い高真空性能は、厳密な機械的公差と動的バランスに依存します。{0}標準的な製造ゲートと検査ゲートには次のものが含まれます。
CNC ロータープロファイリング:正確な内部クリアランスと容積効率を維持するための精密機械加工。
ダイナミックバランシング:-高速ローターのバランス調整により、振動、騒音、ベアリングの摩耗を最小限に抑えます。
寸法三次元測定機検査:組み立て前のハウジングとチャンバーの形状検証。
タイミングギアの同期:正確なギアの調整により、ローターが非接触で回転します。-
ヘリウム質量分析計のテスト:真空気密性と構造的完全性の検証。
工場受け入れテスト (FAT):振れ、電気負荷、性能曲線の検証。-
適用範囲
高いガス処理量、迅速な排気、または絶対的なガス封じ込めを必要とする工業プロセス向けに設計されており、一般的な用途には次のようなものがあります。
半導体製造、CVD/PVD装置、真空成膜
医薬品原薬 (API) の真空乾燥と溶媒回収
高温真空炉、ろう付け、冶金
大規模な産業用脱気システムおよび集中真空システム
よくある質問
Q: キャンドモータードライブルーツ真空ブースターには補助ポンプが必要ですか?
A: はい。ルーツ ブースターは正の排気量ブースターであり、大気圧縮機ではありません。-排出ガスを処理し、安全な段間差圧を維持するには、適切なサイズの補助ポンプ (ロータリー ベーン、スクリュー、液封ポンプなど) が必要です。-
Q: 正しい排気速度はどのように選択すればよいですか?
A: メーカーの性能曲線と照らし合わせて検証された、チャンバー容積、目標ポンプダウン時間、ガス負荷ダイナミクスを考慮し、特定の使用圧力で必要な質量流量または排気速度に基づいて選択してください。{0}}
Q: 差圧が重要な選択パラメータであるのはなぜですか?
A: 過剰な差圧は、モーターやタイミングギアに高い熱応力と機械的負荷を生じさせます。ブースターと適切なサイズの補助ポンプを組み合わせることで、動作点が熱制限内に安全に維持されます。
Q: このブースターは腐食性ガスや凝縮性ガスに対応できますか?
A: はい。ガス接触材料とエラストマー シールが用途に合わせてカスタム選択され、適切な凝縮器、スクラバー、またはガス パージが上流に組み込まれている場合に限ります。{0}
Q: キャンドモーター構成の利点は何ですか?
A: キャンド モーターはステーターとローターを二次封じ込めバリア内で完全にシールするため、動的シャフト シールの破損点が排除され、大気漏れゼロが義務付けられる有毒、可燃性、または超クリーンな環境に最適です。-
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