InPower オイルフリースクリュー真空ポンプは、駆動および従動ローターの回転により密閉された吸入セクションが拡大され、ガスを吸入します。ポンプされたガスがポンプ室に入ると、密閉セクションは駆動および従動ローターの回転とともに吸入端から吐出端に移動し、圧力が着実に上昇し、中間排気現象はありません。密閉空間が吐出ポートに接続されると、吐出通路内のガスがポンプ室に逆流し、ポンプ室内のガス圧力と温度が上昇し、気流ノイズが発生します。ポンプが作動し続けると、密閉空間の容積がどんどん小さくなり始め、ポンプ室内のガスが継続的に排出されます。ポンプ室にはオイルフリー潤滑があります。そのため、クリーンな真空を得ることができます。スクリュー真空ポンプが腐食性ガスを吸入する場合は、腐食防止を行う必要があります。
特徴：
ローター構造がより複雑になり、精度要件が高くなり、ローター加工がより困難になり、加工時間が長くなります。同時に、可変リードスクリュー真空ポンプは、動作電力が小さく、騒音が低く、ポンプ動作時の温度も低くなります。
inPower オイルフリースクリュー真空ポンプ 技術的パラメータ:
モデル:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
到達真空度: 1Pa以下
速度 50 Hz:30-500 L/s
速度 60 Hz:36 - 600 L/s
|
モデル |
LG30 30 円 |
LG50 50 ... |
LG70 型番 |
LG110 型番 |
LGGB150 本体 |
LG180 本体 |
LGGB200 型番 |
LG220 型番 |
LGGB270 型番 |
LG300 型番 |
LG360 について |
LGB400 |
LG500 型番 |
||
|
速度(50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
究極の真空（50Hz） |
パ |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
最大排気圧力 |
バー |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
電源(50Hz) |
クォ |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
モーター速度(50Hz) |
回転数 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
接続する |
で |
んん |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
外 |
んん |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
水 |
流れ |
L/分 |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
プレッシャー |
MPa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
接続する |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
冷却方法 |
空気/水 |
空気/水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
水 |
|
|
ノイズ |
デシベル |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
重さ |
Kg |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
特別な要件 |
要件に応じて、可変周波数、耐腐食性、防爆性などを設定できます。 |
||||||||||||||
化学および工業市場向けにカスタマイズされた特定のバリエーションを備え、特にファインケミカルおよび医薬品市場に重点を置いており、ほとんどのアプリケーションに最適です。
生産状況：
inPower LGB オイルフリースクリュー真空ポンプ 用途分野:
計測および検査機器:
半導体製造で使用される計測および検査ツールの真空システムには、チャンバーを真空にして正確な測定を保証するための信頼性の高いポンプが必要です。ドライ スクリュー ポンプは、これらのアプリケーションに必要な真空性能を提供します。
イオン注入:
ドライ スクリュー ポンプは、半導体材料にドーパント原子を導入してその電気的特性を変えるために使用されるイオン注入装置に必要な高真空レベルの作成と維持に不可欠です。
フォトリソグラフィー:
フォトリソグラフィープロセスでは、ドライスクリューポンプが露光ツールチャンバーの排気を助け、半導体製造プロセス中に半導体ウェーハへのパターンの正確な転写を保証します。
研究開発:
ドライスクリューポンプは、半導体業界の研究開発ラボでも、制御された真空条件下で新しいプロセス、材料、機器をテストするために使用されます。
人気ラベル: オイルフリースクリュー真空ポンプ、中国オイルフリースクリュー真空ポンプメーカー、サプライヤー、工場, 真空ポンプの互換性, 真空ポンプ技術開発, 真空ポンプの将来の見通し, 真空ポンプ監視, 真空ポンプの自動化, 真空ポンプの統合
