InPowerVac 低圧真空 10 ^ -7 mbar ターボは、高速回転ブレードと分子抵抗の組み合わせを使用してチャンバーからガス分子を除去することで、超高真空レベルに到達できます。

モデル:G10/16/36/45

到達真空度: 1Pa以下

速度 50 Hz:10-45 m³/h

速度 60 Hz: 10-45 m³/h

（１）高い排気速度：ターボポンプは、通常毎秒数百から数千リットルの範囲の高い排気速度を実現できるため、チャンバーからガス分子を急速に排出し、低圧環境を作り出すことができます。

（２）超高真空（UHV）対応：10^-7 mbar の圧力により、このシステムは超高真空レベルに到達できます。これは、ガス干渉を最小限に抑える必要がある多くの敏感なアプリケーションに不可欠です。

（３）低振動・低騒音：ターボポンプは、振動と騒音を最小限に抑えて動作するように設計されており、電子顕微鏡や半導体製造など、精度と安定性が求められる用途では非常に重要です。

（4）他の真空部品との互換性：ターボポンプを含む真空システムのコンポーネントは、効率的な動作と汚染や漏れの最小化を保証するために、相互に互換性がある必要があります。

（５）信頼性と耐久性：ターボポンプは長期的な信頼性と耐久性を実現するように設計されており、多くの場合、摩耗やメンテナンスの必要性を最小限に抑えるための磁気ベアリングや潤滑システムなどの機能を備えています。

（１）表面科学：走査トンネル顕微鏡 (STM)、原子間力顕微鏡 (AFM)、X 線光電子分光法 (XPS) などの表面科学の研究では、原子レベルでの表面特性と相互作用を研究するために、超高真空条件が必要になることがよくあります。

（２）薄膜堆積：半導体製造、光学、その他の産業における薄膜堆積のための物理蒸着 (PVD) や化学蒸着 (CVD) などのプロセスでは、低圧環境が役立ち、高品質の膜成長と材料特性が確保されます。

（３）質量分析：分析化学や生化学で使用される高解像度質量分析計では、高感度かつ高精度で分子のイオン化、分離、検出を容易にするために、超高真空条件が必要です。

（４）粒子加速器：超高真空システムは、粒子実験や研究中にガスの衝突を最小限に抑え、ビームの品質を維持するために、粒子加速器やビームラインに不可欠なコンポーネントです。

（５）宇宙シミュレーション：超高真空レベルの真空チャンバーは、宇宙船コンポーネントのテスト、衛星の熱バランステスト、シミュレートされた宇宙環境での宇宙飛行士の訓練などの宇宙シミュレーションテストに利用されます。

（６）融合研究：実験用の核融合炉とプラズマ装置では、制御された核融合反応に必要な高温高密度のプラズマを生成し維持するために、超高真空状態が必要です。

（７）高性能電子顕微鏡：超高真空条件下で動作する透過型電子顕微鏡 (TEM) と走査型電子顕微鏡 (SEM) は、科学研究や材料特性評価のために、材料の高解像度の画像化と分析を提供します。

（８）放射光施設：シンクロトロン放射施設では、ビームラインと実験ステーションに超高真空システムを採用し、シンクロトロン光源を使用した材料科学、生物学、物理学の高度な研究を可能にしています。

低圧真空 10 ^ -7 Mbar ターボ