真空ポンプ技術は、圧縮プロセス中にガスが油または水にさらされるかどうかに応じて、ウェット（潤滑）またはドライ（オイルフリーまたはドライランニング）のいずれかに分類されます。
ウェットポンプは、オイルまたは水を使用して潤滑および/またはシールを行いますが、この流体はポンプされた（掃引された）ガスを汚染する可能性があります。一方、ドライ真空ポンプでは、ポンプされたガスに流体は含まれず、ポンプの回転部分と静止部分の間の正確なクリアランス、ドライポリマー（PTFE）シール、またはダイヤフラムによってポンプ機構をガスから分離し、密閉性を確保します。
ただし、ドライポンプは完全にオイルフリーではありません。ポンプのギアやベアリングにはオイルやグリースが使用されることが多いためです。これは真空圧縮側とは別に保管されます。ドライポンプは汚染やオイルミストのリスクを軽減します。また、潤滑ポンプのようにオイルを廃棄する必要がないため、環境上の利点もあります。
遠心ポンプ
遠心ポンプは、遠心力場の働きを通じて流体（特に液体）にエネルギーを伝達する能力を特徴とする油圧作動機械です。その主な目的は、圧力の増加によって流体を移動させることです。遠心ポンプにはさまざまな構造がありますが、その動作原理と流体力学特性は常に同じです。
液封式真空ポンプ
液封式真空ポンプはロータリーベーンポンプに似ていますが、ベーンがローターの一体型部品であり、回転する液体のリングをかき混ぜて圧縮室のシールを形成するという点が異なります。液封式真空ポンプは本質的に低摩擦設計で、ローターが唯一の可動部品です。滑り摩擦はシャフトシールに限定されます。液封式ポンプは通常、誘導モーターで駆動されます。
液体リングシステムは、単段式または多段式のいずれかになります。
ロータリークロー
ロータリークロー真空ポンプ効率的かつ経済的に非接触真空を生成します。これは、ロータリークロー設計の内部圧縮の原理により可能になります。クロー真空ポンプは静的圧縮システムに基づいています。ロータリーローブとは対照的に、圧縮は内部で体積収縮によって行われます。
クローポンプは 2 つのローターで構成されています。ローターは、非常に狭いクリアランスを保ちながら、コンプレッサーハウジング内で互いに接触することなく反対方向に回転します。ローターは精密ギアによって同期されます。クローが吸引接続部と軸方向吸引チャネルの上を移動すると、入口ガスが圧縮室に吸い込まれます。ガスは圧縮室内で事前に圧縮され、その後排出されます。
ロータリースクリューポンプ
A スクリュー真空ポンプ2 つの平行なネジ型ローターで構成され、1 つは右ネジ、もう 1 つは左ネジです。両方のネジはコンプレッサー ハウジング内で摩擦なく、非常に狭いクリアランスで回転します。
これらは精密ギアを介して同期されます。圧縮ハウジングと特殊な形状のネジが圧縮室を形成します。両方のネジが反対方向に回転するため、吸入ポートに接続された室が拡大し、ガスが圧縮室に送られます。その後、室は吸入側から圧力側へ軸方向に移動します (矢印)。
可変ピッチ モデルでは、ガスはピッチ変更ごとに圧縮され、次のピッチ変更の前に冷却されるため、効率が向上します。圧力側では、チャンバーがハウジングの軸方向の壁に向かって移動し、スクリューの前面が圧力チャネルを開き、事前圧縮されたガスが圧力接続部から排出されるまで、容積が減少します。冷却は、水冷式の外部チャンバーを使用して行われます。ポンプのサイズによっては、追加の冷却ガスをポンプに導入できます。
